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美国METONE 3411便携式空气颗粒计数器

更新时间:2023-12-12

简要描述:

MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界*的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内*洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。便携式空气颗粒计数器|选择 MET ONE 3411 的优势所在可让您的洁净室保持洁净0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染热插拔电池-*确保仪器长时间

型号:点击量:206

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MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界*的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内*洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。


便携式空气颗粒计数器|选择 MET ONE 3411 的优势所在

  • 可让您的洁净室保持洁净
    0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染

  • 热插拔电池-*确保仪器长时间连续运行
    由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机

  • 测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
    可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误

  • 顺序采样系统
    可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。

  • 灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
    供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有监控软件,以便减少文书工作

  • 直观的用户界面
    简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!

  • 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
    专用于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性*符合 ISO21501-4标准要求。


产品参数


通道个数

 6

 粒径

 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ

 光源

 氦氖激光器

 重量

 不含电池:15.9 公斤,电池:0.66 公斤

 尺寸

 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (宽 x 长 x 高)

 机箱材质

 便于清洗的钝化不锈钢

 流速

 1.0 CFM (28.3 LPM)

 零计数

 ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间

 符合损失

 在 50,000 /ft3 时,为5%,符合ISO 21501-4标准

 泵的类型

 可供连续使用的的多瓣闭路循环控制泵

 计数效率

 在0.1 µm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921,粒径大于0.15µm时为 *

 运行温度

 10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%,无冷凝

 显示

 ¼ VGA 彩色 TFT 触摸屏

 打印机

 高速热敏打印机

 语言

 英语,法语,德语,意大利语,西班牙语,韩语*,日语*,中文

 可以显示的*大数值

 9,999,999 displayed

 延迟时间

 15秒钟至23小时59分59秒

 采样/停留时间

 1秒钟至23小时59分59秒

 计数警报

 1~ 9,999,999 个计数值

 位置

 编号:0 至 999; 名称:文字描述,显示在打印输出资料上

 数据存储

 5,000 个样品, 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)

 输出

 USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头)

 锂电池,可充电、可热插拔

 Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX

 输入

 空气速度探头,相对湿度/温度探头

 自动 CDA 清洗

 连接到CDA之后,清洗电磁阀会被激活

 电源

 24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器

 电池类型

 智能锂电池,可充电,可热插拔

 电池使用时间

  *短 3 小时

 电池的充电时间

 电池的充电时间

 包含电池数量

 2组

MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器的随附配件

 部件编号

 描述

 2087966-01

 等动力探头1.00 CFM,镀镍铝制3/8“倒钩接头

 960380

 样品管,内径 3/8" ,长 10英尺

 2088035-01

 等动力探头适配器,铝制

 970650

 等动力探头三脚架

 230-300-7052

 24VDC电源输出

 VP623500

 电源线:115VAC, 6' L

 VP623501

 电源线:115VAC, 6' L

 2087939-01

 零计数过滤器 1CFM

 2087090

 PortAll 软件,CD

 460519

 打印纸,2卷

 280-120-2024

 2组锂电池

 210-400-5171

 触摸屏手写笔

 2088010-01

 128M USD闪存驱动

 410-150-0011

 3针微型接线端子

 410-420-0020

 接线端子罩壳

 490-200-0001

 无线天线,附带无线版本P / N 2088800-02

MET ONE 3411 便携式空气计数器可选配件

 部件编号

 描述

 CAL_GAS_3411

 3411型的气体校准,包括氦、氩、二氧化碳和氮气

 701241-01

 3400系列IQ / OQ 验证文件(CD)

 2087966-02

 等动力探头1.0 CFM,不锈钢制3/8“倒钩接头

 2089406-01

 等动力探头支架

 460519

 打印纸(价格以每卷计)

 280-300-5000

 智能电源充电器

 280-120-2024

 智能锂电池

 2088928

 温度和相对湿度探针VAISALA HMP50

 2087939-01

 零点计数过滤器(1.0 CFM型)

 460-400-4798

 电缆,USB2.0 高速,1m

 2084045-02

 Particle Vision PortAll, 2.0.x版,套件,下载工具软件,适配器和说明书(串行电缆需单独购买)

 700011-21

 PortAll 许可标准版

 2088000-01

 过滤器扫描探头(电子式)1 CFM

 2088000-02

 过滤器扫描探头(无电子式)1 CFM

 2088012-02

 适配器,USB转RS232,USB线缆

 2088012-01

 适配器,USB转RS485,USB线缆

 2080732-8

 高压扩散器,用于 1.0 CFM 设备。


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